コロナ・プラズマ処理装置の構成

処理ステーション

電極と処理ロールとの隙間でコロナ放電を起こし、その間を通過する基材に表面処理を施す処理ユニットです。 目的に応じ、絶縁性基材用処理ステーション、導電性基材用処理ステーション、広幅基材用処理ステーション、内圧送風式処理ステーション、ナローウェブ用処理ステーション、大気圧プラズマステーションがあります。（成形品用処理ステーションは処理ロールを持たない構造）

高周波電源装置

高周波出力を発生させ、高圧トランスにて昇圧させた高周波・高電圧を放電電極に印加させます。

操作盤（オプション）

処理ステーション機側に設置し、電力の可変や電極のセット・オープンを制御します。さらに、タッチパネルを採用することにより、前述の機能に加え、故障表示・記録、速度追従機能、放電量制御機能等を追加することもできます。

関連設備

上記メイン設備の他、実際の運用に当たっては各所の高圧・低圧電気配線に加え処理ステーション内で発生したオゾン及びNO_xを排出するオゾン排気ブロワとオゾン排気ダクト、処理ステーション－高圧トランス間の高圧配線をシールド・保護するシールドパイプ、電極開閉用シリンダへの圧縮エアーの供給設備等が必要になります。
※大気圧プラズマの際は、オゾン排気ブロワの代わりに投入したガスを回収するブロワが必要になります。

コロナ処理装置関連設備設置例