大気イオンモニタ（NK-7001）

大気イオンモニタ（NK-7001）
Air ion monitor (NK-7001)

電子デバイスの静電気耐性はますます低下しており、イオナイザの設置台数も増えてきております。イオナイザは放電電極針の汚れや磨耗により除電性能の低下やイオンバランスの崩れが起きます。電子デバイスの帯電は、汚れや磨耗でバランスの崩れたイオナイザのイオンブローでも生じ、先端電子デバイスを破壊するレベルに達します。
大気イオンモニタは、デバイスの対地静電容量とほぼ同じ静電容量を持つ帯電板（検出部）の電位を高い精度で測定し、イオナイザの設置時の効果確認や日常管理に最適な測定器です。

特長

• 高電圧電源を内蔵し、ボタン1つで簡単にイオナイザの評価、管理が行えます。
• 小型検出プローブがセパレートになっているため、製造装置内に設置したイオナイザの評価等、狭い場所での測定ができ、手元で表示を見ることが可能です。
• デバイスと同程度の大きさ、静電容量での評価ができます。
• 本体をコンパクトなハンディタイプにしたことにより、作業エリアへの持ち運びが大変便利です。
• ±0.1Vの高分解能で、イオンバランスの評価、管理ができます。

仕様

各部の名称