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リアルプラズマ(APG-500)

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リアルプラズマは高周波・高電圧による電気的エネルギーにより、放電ノズル内部で発生させたプラズマ状の電離気体を照射し処理対象物の表面改質ならびに有 機物除去を行なうプラズマ処理装置です。 プラズマは電気的にほぼ中性であるため処理基材への電気的ダメージ、熱的ダメージがなく、プリント配線基板や液 晶パネル等、センシティブな基材の表面処理が可能です。 又、リアルプラズマAPG-500では使用ワーク、アプリケーションに合わせ多種多様の放電ヘッ ドを用意しており、最も効率が良く、効果的なプラズマ放電による表面改質を提供いたします。

APG-500のプラズマ生成プロセス

 

APG-500_03.jpg

 

仕様

供給電圧 単相AC200V/220V、50/60Hz
消費電力  1000VA
供給エア流量 200NL/min
供給エア圧力 0.5MPa
エア供給口径 φ10 ワンタッチ継ぎ手
処理幅 24mm
設置距離 5~10mm (ノズル先端からワークまで)
フレーム温度 68℃(アルコール温度計、2分間、Ta=21℃の場合)
処理対象物 プラスチック、ガラス、金属、半導体、電子基板
寸法 発振器AGF-B20:250×180×300mm
プラズマユニットAPG-500:400×270×345mm
プラズマヘッドPH-500:320×63×106mm
質量 発振器AGF-B20:11kg
プラズマユニットAPG-500:8.9kg
プラズマヘッドPH-500:2.2kg
環境 温度5℃~40℃、湿度17%~70%RH(結露なきこと)

 

リアルプラズマ システム図(APG-500)

APG-500_04.gif

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