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2CH静電電位監視装置(KSD-0120)

KSD-0120.jpg

特長

  • 1台の制御器で最大2chのワイド電位センサ(KS-2100)を接続することができますので、安価に静電気監視システムが構築できます。
  • センサ部が小型のため、各種製造装置内の狭い場所に設置でき、連続監視が可能です。
  • 警報設定ができますので、設定した電位を超えた場合に、各種製造装置と連動することが可能です。
  • 新開発の表面電位センサ故障診断回路を装備いたしましたので、衝撃等によるセンサ故障をすばやく確認し、外部に出力できます。
  • イオナイザの効果確認、管理にも使用できます。
  • レンジ切り替えにより、低電位から高電位までワイドレンジで測定可能です。

用途

  • フラットパネルディスプレイ生産工程での帯電量監視。
  • 半導体ウェハ帯電量監視。
  • LSIのハンドリング中やプリント基板搬送中の帯電量監視。

構成

品目 形式 備考
本体 KSD-0120  
取付金具   本体に付属
センサ KS-2100 オプション、2台迄使用可能
専用ACアダプタ KSD-0120用ACアダプタ オプション

 

仕様

本体

型式 KSD-0120
表示範囲 レンジ(1) ±1~±1999V
レンジ(2) ±0.01~±19.99kV
アナログ出力 0~±5V
制御設定 2チャンネル独立設定
制御出力 オープンコレクタ(制御設定出力及びセンサ故障出力)
電源 DC12~24Vまたは
専用ACアダプタ(AC100V/オプション)
消費電流 500mA(DC12~24V)
環境 温度0~40℃、湿度65%RH以下(結露なきこと)
質量 約580g(取付金具含む)

 

専用ACアダプタ(オプション)

型式 KSD-0120用ACアダプタ
入力電圧 AC100V 50/60Hz
出力電圧 DC12V
ケーブル長 1580mm
質量 約385g

 

センサ(オプション)

型式 KS-2100
検出方式 振動型表面電位センサ
測定範囲 レンジ(1) ±1~±2000V
レンジ(2) ±0.01~±20.00kV
アナログ出力 0~±5V
測定精度 ±10%以内
測定基準距離 レンジ(1) 10mm
レンジ(2) 50mm
警報 検出センサ故障LED表示、外部出力
電源 KSD-0120より供給
環境 温度0~40℃、湿度65%RH以下(結露なきこと)
質量 約100g(ケーブル含まず)
付属品 専用ケーブル5m(最大100m迄延長可能)

 

寸法・各部の名称 (寸法単位[mm])

本体

KSD-0120_02.gif

センサ

KSD-0120_03.gif

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