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ワイド電位センサ(KS-2100)

KS-2100.jpg

特長

  • アンプ部(駆動回路部)を検出部に内蔵したことにより安価でコンパクトになっております。
  • 従来高価であった静電気監視システムを安価に構築できます。
  • スイッチにより測定レンジを変更でき、低電位から高電位までワイドレンジの測定が可能です。
  • 検出センサの故障表示LEDを装備し、外部に出力できます。

用途

  • フラットパネルディスプレイ生産工程での帯電量監視。
  • 半導体ウェハ帯電量監視。
  • LSIのハンドリング中やプリント基板搬送中の帯電量監視。

仕様

型式 KS-2100
検出方式 振動型表面電位センサ
測定範囲 レンジ(1) ±1~±2000V
  レンジ(2) ±0.01~±20.00kV
アナログ出力 0~±5V
測定精度 ±10%以内
測定基準距離 レンジ(1) 10mm
  レンジ(2) 50mm
警報 検出センサ故障LED表示、外部出力
電源 DC12~24V±5%
環境 温度0~40℃、湿度65%RH以下(結露なきこと)
質量 約100g(ケーブル含まず)
付属品 専用ケーブル5m(最大100m迄可能)

 

寸法・各部の名称 (寸法単位[mm])

KS-2100_02.gif

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