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ガスプラズマ処理ステーション

gas_01.jpgガス中にてコロナ放電処理を行なう為の処理ステーションです。

ガス中コロナ処理(ガスプラズマ処理)では使用する希ガスや不活性ガスの種類等によって基材に導入する官能基に選択性が与えられ、一般のコロナ処理では得られない表面改質が得られます。


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ガスプラズマ/コロナ処理比較データ

gas_02.gif

プラズマ・チャンバーの構造

gas_03.gif

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